个人工业用地建厂房需要经过以下流程：
选址和用地：首先，需要考虑公司的业务需求、设备情况、交通状况等因素，选择适合的土地。然后需要与房地产开发商或土地所有者谈判或出价购买土地。
规划设计：选定用地后，需要进行规划设计，包括厂房、车库、停车场、水电管道、绿化等。设计需要符合相关的规定和法律要求，并且需要通过限制性土地使用条件审批和环评报告获得相应的证书和许可证。
建筑施工：建筑施工需要进行土方、基础、主体、装饰、设备等多个阶段的工程，并且需要符合相关建设标准和法律规定。建筑施工期间需要履行相关安全责任和保障安全施工。
设备购置：厂房建设完成后，需要购置必要的生产设备和生产线，例如机器、仪器、原材料和半成品等，并且需要遵守相关标准和规定。
调试验收：设备安装完成后，需要进行调试验收，以保证设备的正常运转和效果达到预期结果。
消防安全验收：厂房建设完成后，需要进行消防安全验收，并进行注册备案。
竣工验收：所有工程和设备都通过测试后，需要进行最终的竣工验收，以获得相关证书和许可证。
综上所述，个人工业用地建厂房需要经过多个环节的规划设计、施工、设备购置和调试验收等工作，遵循相关规定和法律要求，同时须保障安全施工和正常运营。