具体流程如下：
车辆备案前准备：根据车主的身份和车辆信息，携带相关证明材料到当地车管所进行备案前准备。
环保检测：在备案前，需要完成环保检测并获得合格证明。车主可以选择在车管所指定的环保检测机构或其他指定检测机构进行检测。
车辆备案申请：携带备案准备材料，到车管所办理车辆备案申请手续。在申请过程中，需要填写相关表格、提交材料，并按照要求缴纳相关费用。
车辆审查：车管所将对车辆备案申请进行审查，包括车辆信息核实、证明材料审核等步骤。
备案登记：在审核通过后，车管所将为车辆进行备案登记，并颁发车辆备案证书。车主需妥善保管备案证书，以备后续查询和使用。
上牌：备案完成后，车主可以按照要求到车管所进行上牌手续，领取车辆行驶证、号牌等相关证件。
总之，在深圳市进行车辆备案需要遵循一系列规定和流程，并提交相关证明材料和费用。车主可提前了解备案要求并准备所需材料，以加快备案进度。